cmp工艺仿真软件
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可编程控制器的CMP比较指令编程实例及仿真?_百度经验

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2016工艺仿真.ppt

2016年12月3日 - PtyLtd.ATHENA工艺仿真软件ATHENA能帮助工艺开发工程师开发和优化半导体制造工艺。...工艺步骤对具体的工艺进行仿真这些工艺包括: Bake,CMP,Depositio...
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Silvaco TCAD 工艺仿真_百度文库

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athena 工艺仿真系统 - silvaco - 豆丁网

2015年12月20日 - ATHENA工艺仿真系统使得工艺和集成工程师 能够开发和优化半导体制造工艺流程。 ATHENA...MC Etch/Depo STI CMP SSuprem4 GateOxidation PolysiliconGa...
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ATHENA 工艺仿真系统 - 道客巴巴

2015年2月5日 - ATHENA 工艺仿真系统使得工艺和集成工程师能够开发和优化半导体制造工艺流程。...框拓扑仿真器,用于模拟物理蚀刻、淀积、回流和化学机械抛光 (CMP)工...
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Silvaco_TCAD_工艺仿真2_百度文库

2014年12月1日 - Silvaco_TCAD_工艺仿真2_工学_高等教育_教育专区。Silvaco 教学ppt,适合初学者Silvaco...machine=cmp time=4 min structure outfile=polish.str tonyp...
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产品介绍---中国科学院微电子研究所

EDA中心研发团队通过深入研究铜互连ECP/CMP工艺,建立了结合设计版图图形与CMP机理的新型高效互连工艺建模技术,开发了芯片级多节点多层铜制程ECP/CMP建模和仿真工具,可...
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Silvaco_TCAD_工艺仿真1_百度文库

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